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Halbleiter

Vielfältige Funktionen mit komplexer Halbleitertechnologie

Geschätzt wird AEMtec auch von Anlagenherstellern für die Halbleiterfertigung. Dort führt die stete Miniaturisierung beispielsweise zu immer höheren Datenspeicherdichten. 

Zurzeit können Strukturen im Nanometerbereich industriell gefertigt werden. Basis hierfür ist eine immer größere Präzision insbesondere im Bereich der Lithographie.

In diesem hochpräzisen Prozess werden spiegelgeführte optische Strahlen verwendet, um über eine Maske Strukturen auf einen photosensitiven Lack  zu schreiben. Ein anschließender Ätzprozess überträgt durch den geöffneten Photolack diese Struktur auf den darunter liegenden Metall-Layer.

Die daraus entstehenden Dies können für die Integration in verschiedene MOEMS verwendet werden. Um diese Integration durchzuführen, steht bei AEMtec ein Reinraum ISO Class 5 zur Verfügung.

 

 
 
 

ANWENDUNGEN

  • Lithographiesysteme
  • Maskenschreiber
  • Mikro-Opto-Elektro-Mechanische Systeme (MOEMS)

Kontakt

AEMtec GmbH

Vertrieb

+49 30 6392 7300
 sales(at)aemtec.com